ميثيل ثلاثي كلوروسيلان، المعروف أيضًا باسم ثلاثي كلورو (ميثيل) سيلان، (CAS: 75-79-6)، مركبات السيليكون، عوامل اقتران السيلان، عوامل تشكيل الطبقة الأحادية المجمعة ذاتيًا. ميثيل ثلاثي كلوروسيلان هويستخدم في إنتاج راتنجات سيليكون الميثيل، حيث يتفاعل بخاره مع الماء على الأسطح ليعطي طبقة رقيقة من ميثيل بولي سيلوكسان مما يجعله طبقة طاردة للماء. يمكن استخدام مزيج من ميثيل ثلاثي كلورو سيلان ويوديد الصوديوم لقطع روابط الكربون والأكسجين مثل إيثرات الميثيل. يتم استخدامه كمقدمة لتشكيل بوليمرات سيلوكسان متصالبة متعددة. ثلاثي كلورو ميثيل سيلان هو المادة الأولية لإنتاج السيليكون النقي لتصنيع أشباه الموصلات والألياف الضوئية. وسيط للسيليكون. يستخدم ميثيل ثلاثي كلوروسيلان على نطاق واسع كمقدمة لمركبات السيليكون العضوي؛ عامل سيليلاتينغ وحمض لويس. MeSiCl3 هو حمض لويس فعال في تكثيف الأحماض الكربوكسيلية مع الكحولات والأمينات. تتفاعل مع الماء أو الهواء الرطب أو البخار لإنتاج حرارة وأبخرة سامة ومسببة للتآكل من كلوريد الهيدروجين. وقد تنتج أيضًا غاز H2 القابل للاشتعال. المخاطر الصحية: كما هو الحال مع الكلوروسيلانات الأخرى، قد يكون التعرض الحاد شديد السمية وقد يسبب الوفاة أو الإصابة الدائمة بعد التعرض لفترة قصيرة جدًا لكميات صغيرة. قد تكون التعرضات المزمنة سامة إلى حد ما وتنطوي على تغييرات لا رجعة فيها وقابلة للعكس. قد يؤدي ملامسة الجلد إلى حروق شديدة مصحوبة بألم وخطر الإصابة بالعدوى الثانوية. قد يؤدي الابتلاع إلى حروق في الفم والمريء والمعدة، وتختلف شدتها من خفيفة إلى شديدة جدًا، كما أن تلف الجهاز الهضمي نادر ولكنه قد يحدث. خطر الحريق: قد تتشكل غازات كلوريد الهيدروجين والفوسجين السامة في الحرائق. يتفاعل مع الماء أو البخار لتكوين حمض الهيدروكلوريك. يشكل البخار خليطًا قابلاً للاشتعال مع الهواء. قد يشكل خليط متفجر في الهواء. تجنب ملامسة الماء أو الهواء الرطب.